[00232096]一种类金刚石微管及其制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201510874097.3
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
中科院宁波先进制造所
进入空间
所在地:浙江宁波市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明涉及一种类金刚石微管的制备方法,其包括以下步骤:⑴提供一基底,并对所述基底进行表面刻蚀处理;⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜,其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种;⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间,使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解,类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲,得到具有中空结构的类金刚石微管。本发明还提供一种类金刚石微管。
摘要:本发明涉及一种类金刚石微管的制备方法,其包括以下步骤:⑴提供一基底,并对所述基底进行表面刻蚀处理;⑵采用磁控溅射与线性离子束共沉积法于刻蚀后的基底的表面沉积金属掺杂类金刚石碳膜,其中所述金属包括铜、铝、银中的至少一种;⑶将沉积有金属掺杂类金刚石碳膜的基底置于酸性溶液中浸泡一段时间,使得所述金属掺杂类金刚石碳膜中的金属被溶解,类金刚石碳膜在压应力的作用下而发生卷曲,得到具有中空结构的类金刚石微管。本发明还提供一种类金刚石微管。