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[00232071]一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710547326.X

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：中科院宁波先进制造所

进入空间

所在地：浙江宁波市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：本发明公开了一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法。该方法利用金刚石相对于红外光具有高透过低吸收的特性，而石墨相恰恰相反的特性通过测量待比较的类金刚石薄膜的红外光透过的高低而得到其中金刚石相以及石墨相含量的高低。与现有技术相比，本发明方法能够快速、准确地比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量，并且适用的膜厚范围宽。

[00232071]一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法

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