[00223206]一种铜铟镓硒(硫)薄膜的硒化硫化装置及方法
交易价格:
面议
所属行业:
化工生产
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201510508328.9
交易方式:
技术转让
技术转让
技术入股
联系人:
中山大学
进入空间
所在地:广东广州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
摘要:本发明公开了一种于铜铟镓硒(硫)薄膜的硒化硫化装置,包括石英管、设置在石英管内的反应单元、设置在所述石英管外的加热结构、用于密封所述石英管的管口密封部;所述石英管上设置有与真空泵组连接的连接组件;所述反应单元包括坩埚,所述坩埚上设置有容纳腔、用于密封所述坩埚的密封结构;所述坩埚包括底壁和与底壁形成上方设有开口的容纳腔的侧壁;所述坩埚上设置有用于将所述容纳腔分隔成若干反应腔的分隔壁,所述分隔壁上设置有若干连接相邻反应腔的连通槽,所述连通槽设置在所述底壁的上方。本发明结构简单,操作方便,安全性高,密封性好,蒸汽压稳定,反应均匀,保证了处理后薄膜表面的粗糙度,提升产品质量。
摘要:本发明公开了一种于铜铟镓硒(硫)薄膜的硒化硫化装置,包括石英管、设置在石英管内的反应单元、设置在所述石英管外的加热结构、用于密封所述石英管的管口密封部;所述石英管上设置有与真空泵组连接的连接组件;所述反应单元包括坩埚,所述坩埚上设置有容纳腔、用于密封所述坩埚的密封结构;所述坩埚包括底壁和与底壁形成上方设有开口的容纳腔的侧壁;所述坩埚上设置有用于将所述容纳腔分隔成若干反应腔的分隔壁,所述分隔壁上设置有若干连接相邻反应腔的连通槽,所述连通槽设置在所述底壁的上方。本发明结构简单,操作方便,安全性高,密封性好,蒸汽压稳定,反应均匀,保证了处理后薄膜表面的粗糙度,提升产品质量。