当前位置：首页 > 科技成果 > 详细页

[00217904]一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法

交易价格： 面议

所属行业： 其他化学化工

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：201310515573.3

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：沈阳大学

进入空间

所在地：辽宁沈阳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

发布技术需求服务免费，交易还可领红包哦

技术详细介绍

　　一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法（专利号201310515573.3），其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本，保证了膜层高附着力、高硬度和高热震性的同时实现，减小了膜层内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。

[00217904]一种氮化钛铝铌氮梯度硬质反应膜的制备方法

技术详细介绍

推荐服务：