本发明公开了一种阵列波导器件用的多维对准平台(专利号200810143178.6),在底板(100)上设有中间运动平台(200),在所述的底板(100)上设有以所述的中间运动平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台。本发明设有六维高精度的运动平台和其紧凑、合理的结构布局,可有效应用于要求高精度对准的各种平面波导的对准和封装,并且可方便扩展IR-CCD、机器视觉、点胶装置、UV固化装置等外设设备,且操作简单,运动范围大,精度高。
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