技术详细介绍
本发明公开了一种具有两维较大行程的平面型磁浮直线运动平台装置（专利号201110291618.4）。该装置的每个电磁轴承由两个差动式驱动电磁铁组成，控制线圈中电流可使磁浮直线运动平台的磁浮工作台在电磁力作用下稳定悬浮，与支座及直线驱动系统间无机械接触；磁浮工作台与直线电机驱动单元相互独立，两个水平面上相互垂直的直线电机依靠相应的侧向导向用电磁轴承的非接触电磁力作用推动磁浮工作台作平面型两维直线运动。其中磁浮工作台的两个水平方向直线导向及驱动机构结构完全相同，每个机构均由两个电磁轴承和两个机械滚动轴承组成。两导向机构无耦合关系。当平台高加速度运动时，刚性滚动轴承辅助导向及保护电磁轴承，而在稳定状态及需要比较小的驱动力时，电磁轴承可以直接驱动磁浮工作台并保持磁浮无接触导向。