微米尺度图像自动光学检测技术
利用显微镜与CCD摄像机获取微米尺度图像并通过计算机对图像加以处理,可实现对集成电路晶片等位置与特征的自动定位与识别。该系统功能灵活多变,配合不同的机械装置可实现晶片质量检测、晶片封装等各种具体应用。目前,基于该技术已经开发了多种自动化设备并应用于工业领域。其中基于该系统的发光二极管晶片质量检测仪可在10分钟之内完成对2万枚晶片的质量检测,是传统手工检测速度的数十倍。同样基于该系统并配合超声波焊枪,可实现高速金丝球焊接仪,实现对集成电路裸片的引脚焊接,焊接速度超过1万个引脚每小时,约等于3至4名熟练工人的工作量,焊接成功率可达到99%以上。
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