本发明涉及一种双相纳米多层氮化铬铝涂层及其沉积方法,该涂层应用于不锈钢、高速钢、硬质合金等材料的耐磨和防腐蚀,属于金属陶瓷、机械加工及金属腐蚀与防护领域。该发明涂层设计方案如下:涂层由B1NaCl结构的Cr1-xAlxN及B4ZnS结构的Cr1-yAlyN交替沉积在基体上形成,对B1NaCl相Cr1-xAlxN,0。1<x<0。75,对B4ZnS相Cr1-yAlyN,0。75<y<1。单层厚度为0。5-50纳米,涂层总厚度为0。5-30微米。本发明的优点:通过双相纳米多层氮化铬铝涂层技术可以使得涂层的硬度达到40-76Gpa。
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