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[00203075]一种LPCVD工艺中的冷却腔传输系统

交易价格： 面议

所属行业： 太阳能

类型： 实用新型专利

技术成熟度： 通过中试

专利所属地：中国

专利号：CN201120535204.7

交易方式： 技术转让技术转让

联系人：汉能新材料科技有限公司

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所在地：北京北京市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　本实用新型涉及一种LPCVD工艺中的冷却腔传输系统，具体地讲是涉及一种降低玻璃破碎率的LPCVD工艺中的冷却腔传输系统。该系统包括一组传动滚轮，还包括从动滚轮和由传动滚轮驱动的传送皮带，传动滚轮和从动滚轮分别位于传送皮带传送方向的两端。该系统简化了结构的同时，消除了玻璃基板自身的变形以及局部温度变化过于剧烈等两个导致玻璃破损的因素，降低了玻璃传输过程中的破碎率，提高了生产的稳定性，且易于维护。

[00203075]一种LPCVD工艺中的冷却腔传输系统

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