技术详细介绍
非球面光学元件面性检测装置
本发明公开了一种非球面光学元件面形检测装置。该装置在现有干涉法面形检测装置的基础上，通过增设两个可控光阑实现了对检测光波和参考光波的光强测量，通过增设压电陶瓷实现了对相移干涉条纹的采集；非球面面形测量软件包通过计算待检非球面光学元件的待测面形与标准球面之间的相位偏差以及待检非球面光学元件的理想面形与标准球面之间的相位偏差，可方便地获得待检非球面光学元件的面形与其理想面形间的相位偏差。因此，本发明可以有效地解决大偏离量非球面光学元件面形的检测问题，不需要实际加工计算全息图，可降低检测成本、缩短检测周期，并提高了检测精度。