技术详细介绍
等离子电子束中金属与合金的氮化
项目简介
建议在低压含氮气体中借助低能量电子束创立金属与合金的无氢等离子氮化方法。等离子体渗氮技术提高了如钢、钛与钛合金之类建筑材料的硬度，耐磨损性，抗疲劳性与耐腐蚀性。运用等离子生成电子束能够克服离子渗氮的以下缺点：如由于表面粗糙度与摩擦系数的增加而导致的强烈的离子腐蚀；由于形状复杂的产品不均匀氮化而产生对表面离子层的影响。该方法保证了不锈钢与钛合金的低温氮化。
利用阴极等离子体与单级加速系统电子源建立具有高含量活性氮粒子的等离子体。该方法能够独立调节光束中的电子电流密度（10-200 毫安/平方厘米），电子初始能量（50-500电子伏），气体介质压强与成分（0。1-5帕），产品加热方式（等离子体中的电子束，离子与组合方法）。该方法能够在低电位与浮动电位下进行氮化，以减少氮化时间或降低加工温度。产品氮化表面总面积为2-103平方厘米。