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一、成果简介
随着电子器件小型化、薄膜化发展, 了解薄膜材料在使役中的力学行为至关重要。常规 XRD 难以探测薄膜信息,而掠入射 X 射线衍射(GIXRD)结合原位拉伸技术,可动态监测薄膜在外场下的结构演变。本装置解决了传统夹持方式遮挡 X 射线束的问题,实现了沿拉伸轴方向的掠入射衍射测试, 已获发明专利授权。
二、主要应用领域和市场前景
本装置适用于薄膜材料沿拉伸轴方向的掠入射衍射测试,可获取拉伸过程中的微观结构信息。在航空航天、新能源、柔性电子及复合材料等领域具有广泛应用,能为高性能材料的力学性能优化和失效机制研究提供关键实验支撑,推动动态原位表征技术的标准化与产业化。
三、知识产权
已授权发明专利。
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