[01924456]芯片清洗用高浓度臭氧水技术
联系人：秦飞
所在地：上海上海市
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技术详细介绍
应用领域
适用于 电子芯片、硅片清洗。还可用于水产保鲜、冷链病毒杀灭、医疗器械消毒、替代农药、去除饲料中黄曲霉毒素、公共卫生消毒、污泥处理，土壤修复、水净化、垃圾站除臭、大水体消减底泥等领域；
技术特点
国际上制取高浓度臭氧水（≥70ppm）须采用臭氧气体浓度300mg/L以上的臭氧发生器。本项目技术实现了用普通便宜的一般浓度臭氧气体发生器来获得高浓度臭氧水。
性能指标
用自来水及普通浓度臭氧发生器，制备的臭氧水浓度达到70mg/L以上，已实现120mg/L以上的浓度。浓度满足芯片清洗等高端应用。未来采用超纯水可获得更高浓度的臭氧水。
当前状态
开发成功样机