[01924143]聚酰亚胺光刻胶
联系人：王晓龙
所在地：甘肃兰州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
成果介绍：
研制的聚酰亚胺光刻胶光刻后光刻线尺寸与掩膜线尺寸相切合，且边界清晰，光刻过程没有发生热聚合，工艺条件与光敏聚酰亚胺相对匹配。光刻工艺还待进一步优化选择，包括前后烘烤时间和温度，曝光光强和时间等条件显影液极性还需要调节，还需要进一步研制与光敏聚酰亚胺完全匹配的显影体系。光刻后不留底膜，薄膜厚度小于100 um，光刻后上下口宽度差不超过线宽的1/5。