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在HiPIMS技术基础上搭建靶基离子束控制电路,形成高密度定向离子束流环境(HiPIMS+技术),结合等离子体诊断技术,阐述放电参数对碳离子浓度的响应机制,获得高密度等离子体调控策略;基于等离子体动力学计算分析及Ti离子浅层注入技术,建立SUS316双极板浅注入过渡技术;阐述等离子体能量输入与气氛对碳元素离化率的影响机制,实现碳涂层致密性以及导电相sp2杂化键的可控制备,形成碳涂层导电相定向控制技术;提出强耐蚀多元复合晶涂层制备策略,并基于此构建C/MeN多层结构涂层,阐明多层结构对耐蚀性和导电性的影响机制,获得超导高耐蚀涂层结构控制技术,提升燃料电池SUS316双极板关键性能。
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