[00019208]垂直各向异性铁基软磁薄膜的制备方法
交易价格:
面议
所属行业:
金属材料
类型:
非专利
技术成熟度:
正在研发
交易方式:
技术转让
联系人:
齐晴
进入空间
所在地:上海崇明
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析:
用射频磁控溅射方法在基片上制备铁基软磁薄膜,完成制备后在适当温度退火,不加外磁场或在垂直于膜面的外磁场内冷却,得到垂直各向异性铁基软磁薄膜,基片为载玻片或硅片,靶材为铁基软磁合金:Fe70+xCu1Nb3Si17-xB9 或Fe68+xCu1Cr2V4Si16-xB9,x为0~5,有制备工艺简单,效率高,成本低的优点,本发明制备的产品性能优良和稳定:薄膜附着力强,膜层厚度均匀,薄膜成分相对靶材成份变化小,重复性好,这对高密度垂直磁记录及磁光存储等技术领域具有很大的应用价值。
技术的应用领域前景分析:
一种垂直各向异性铁基软磁薄膜的制备方法,属磁性材料制备技术领域。
效益分析:
随着应用范围的扩大,效用辐射面扩大,必定产生良好经济效益。
厂房条件建议:
无
备注:
无
技术投资分析:
用射频磁控溅射方法在基片上制备铁基软磁薄膜,完成制备后在适当温度退火,不加外磁场或在垂直于膜面的外磁场内冷却,得到垂直各向异性铁基软磁薄膜,基片为载玻片或硅片,靶材为铁基软磁合金:Fe70+xCu1Nb3Si17-xB9 或Fe68+xCu1Cr2V4Si16-xB9,x为0~5,有制备工艺简单,效率高,成本低的优点,本发明制备的产品性能优良和稳定:薄膜附着力强,膜层厚度均匀,薄膜成分相对靶材成份变化小,重复性好,这对高密度垂直磁记录及磁光存储等技术领域具有很大的应用价值。
技术的应用领域前景分析:
一种垂直各向异性铁基软磁薄膜的制备方法,属磁性材料制备技术领域。
效益分析:
随着应用范围的扩大,效用辐射面扩大,必定产生良好经济效益。
厂房条件建议:
无
备注:
无