技术详细介绍
超大规模集成电路用电子化学品处于集成电路制备产业链的前端领域，是集成电路制备中必备的基础化工原料。集成电路仍然依照摩尔定律在发展。前端技术开发已经进入12寸，14纳米的范围。这对与之配套的高纯电子化学品也提出了越来越高的要求。当前SEMI标准中，高纯电子化学品的最高需求为10ppt，国际上先进高纯电子化学品厂商产品品质可以达到1ppt的水平。近年来，国内的高纯电子化学品的生产技术已经有了很大提高。少数厂商的少数产品已经可以达到100ppt的水平，大部分厂商的大部分产品还处于1ppb以上的水平。因此，国内的集成电路厂商的高纯电子化学品几乎全部靠进口解决。超大规模集成电路用高纯电子化学品的价格、货期等受到了较大的影响。 项目定位为高附加值的集成电路用超高纯电子化学品及相关行业化学品研发中 心平台，要求能满足相应产品的小试中试要求，并能提供少量市场产品供应能力。目 前产品的主要市场定位为超大规模集成电路用高纯电子化学品、分析研发领域用的高 纯特种试剂及功能性电子化学品。 目前项目定位的产品为氢氟酸，产品的技术规格为50ppt以下，产品的产能规划 为10000吨每年，产品的工艺路线为精馏工艺，产品相应的设备、包材材质为进口高 纯PFA、高纯PVDF、高纯HDPE。