本发明涉及质谱分析仪器,具体的说是真空紫外光电离和化学电离的复合电离源,包括真空紫外光源和电离源腔体;在电离源腔体内部、沿真空紫外光出射方向依次设置有离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板,离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板相互间隔、同轴、平行设置;离子加速电极、离子推斥电极、离子引出电极和差分接口极板均为板式结构,中心部位设置有通孔,真空紫外光的光束平行于电极轴线方向穿过各电极通孔的中心区域。本电离源利用单一的真空紫外光源在一定电离源气压条件下实现真空紫外光电离和化学电离两种电离模式的切换,大大扩宽了仪器可检测样品的范围。

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