技术详细介绍
一种空气净化处理装置，包括依次通过管路串连的空气加压设备、初级净化器、二级净化器、减压阀、二级稳压调速器、有机物过滤器和气体流量计构成；空气由空气加压设备提供给初级净化器后、依次通过二级净化器、减压阀、二级稳压调速器、有机物过滤器和气体流量计，由气体流量计出气口流出。净化后空气气体中的颗粒物小于等于0.01μm；气体中的露点为-60度至-20度；气体中的挥发性有机物TVOC含量为0.1-1ppb。这种空气净化处理装置，各部分部件相互独立，可以很方便的升级换代，结构紧凑，装配方便，处理气体效果好，可以提供相对湿度低，过滤掉大于0.01μm的固体颗粒，过滤掉有机大分子等，并维持其高性能长期稳定不变。
