技术详细介绍
一种制备用于染料敏化太阳能电池的TiO2纳米棒阵列的方法，利用直流反应磁控溅射方法进行制备，步骤为：将衬底表面放入直流反应磁控溅射装置内，抽真空至小于1×10-3P，Ar气为溅射气体，O2气为反应气体，溅射气体和反应气体分别进行控制；反应气体的压强为0.09-1p，溅射气体的压强为1-5Pa，溅射功率为200-250W，靶到衬底的距离为40-80mm。本发明通过控制气体压强、衬底温度、溅射功率以及靶和衬底的距离等工艺条件，制备了排列均匀的TiO2纳米棒阵列。本发明的TiO2纳米棒具有很强的沿着(220)方向的择优取向，应用到染料敏化太阳能电池中光电转换最高效率可达到5.24％。