技术详细介绍
本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置，包括原料氢气缓冲罐，过滤器，流量控制阀，加热器，金属钯复合膜氢气纯化器，换热器，氢气储罐。原料氢气缓冲罐（11）的气体出口通过管路依次经过滤器（12）、流量控制阀（13）和加热器（14）后与金属钯复合膜氢气纯化器（15）的入口相连，金属钯复合膜氢气纯化器（15）的出口通过管路经换热器（16）换热后与氢气储罐（17）相连；金属钯复合膜氢气纯化器（15）的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气，具有投资省和生产成本低的优点，可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。
