[01533518]可自感知钳指位移与夹持力的4自由度压电微夹钳的研究
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技术详细介绍
微夹钳是MEMS（微机电系统）中实现微零件装配、生物医学工程中实现细胞微操作的关键微执行器之一。本项目通过两组方向相反的横向逆压电效应的空间交叉应用,提出了一种新的4自由度压电微夹钳的设计方法;受压电陶瓷晶体在外力与电场作用下发生变形的本质上是其发生电极化这一思想的启发,提出了一种基于积分电路的微夹钳钳指位移与夹持力的自感知方法;基于所提出的设计方法与自感知方法,研究4自由度、自感知压电微夹钳的实现及其夹持精度的提高。 因每个钳指多实现了一个自由度,并省掉了外部传感器,故所提出的压电微夹钳,对于提高微装配与微操作系统性能、促进系统集成化与微型化、减小系统重量与体积、降低系统设计难度以及降低系统成本,推动MEMS技术、生物医学工程技术的发展,具有重要意义。