[01526556]压电泵驱动器MEMS阀的力学性能研究
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技术详细介绍
该项目为所承担的项目“用于可变形飞行器的压电泵驱动器的研究”(项目批准号：90916011)的延续资助项目，提出利用压电叠堆作为驱动元件，通过MEMS阀实现液体的单向流动的压电泵驱动器，在前期研究基础上，进一步研究了MEMS阀的力学性能。完成了MEMS阀在流体中悬臂梁微阀的动态分析、阀片开启压力分析、MEMS单向阀单元的仿真分析，设计并加工了基于SU8光刻胶的MEMS阀和基于电铸镍的MEMS阀，并对MEMS阀的过流特性进行了实验测试，为MEMS阀的使用提供基础。