技术详细介绍
1.技术简介：
1. 技术指标：
1）建立多晶硅锭生产工艺过程数值计算模拟能力
2）培养多晶硅锭生产工艺计算模拟技术人员
3）计算分析优化改进多晶硅锭生产工艺
2.项目简介：
开发多晶硅锭凝固生长与冷却过程数值模拟软件，其中包括硅锭热场、应力应变场与位错增殖及应力释放的数值计算模拟功能，运用所开发软件计算分析优化多晶硅锭生产工艺实验实施检测优化工艺。
3.技术方法和创新点：
基于通用性数值模拟软件开发本计算模拟软件；基于半导体光致发光（PL）技术检测硅锭质量。
1. 技术指标：
1）建立多晶硅锭生产工艺过程数值计算模拟能力
2）培养多晶硅锭生产工艺计算模拟技术人员
3）计算分析优化改进多晶硅锭生产工艺
2.项目简介：
开发多晶硅锭凝固生长与冷却过程数值模拟软件，其中包括硅锭热场、应力应变场与位错增殖及应力释放的数值计算模拟功能，运用所开发软件计算分析优化多晶硅锭生产工艺实验实施检测优化工艺。
3.技术方法和创新点：
基于通用性数值模拟软件开发本计算模拟软件；基于半导体光致发光（PL）技术检测硅锭质量。