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[00152245]多弧离子镀膜；离子束表面改性；离子掺杂

交易价格： 面议

所属行业： 其他化学化工

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 技术转让技术转让

联系人：中国计量学院

所在地：浙江杭州市

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技术详细介绍

　　成果研究领域/方向：属于材料表面处理、功能薄膜制备及半导体材料掺杂

　　成果简介：多弧离子镀主要用于器件的表面强化处理，用于提高器件的表面耐磨性、耐蚀性，以及装饰等。膜层主要有TiN、TiAlN、CrN等硬质膜。离子束表面改性主要采用离子溅射即离子注入的方法对材料进行精细加工和表面性能改善，主要有TiN、TiAlN、CrN等。掺杂离子以N离子掺杂为主。