[01440702]基于硒化铟和氮化镓的双波段探测器及制备方法
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技术详细介绍
本发明公开了一种基于硒化铟和氮化镓的双波段探测器及制备方法,主要解决现有技术无法实现同时同位置探测的问题。其包括:衬底（1）、紫外吸收层（21）、绝缘层（3）、红外吸收层（22）、两个欧姆电极（4,5）。紫外吸收层位于衬底上;绝缘层位于紫外吸收层的左半平面,在紫外吸收层的右半平面形成一台阶面;红外吸收层左半部分位于绝缘层上,右半部分位于紫外吸收层的台阶面上,其左半部分面积小于绝缘层面积,右半部分面积小于台阶面面积;第一欧姆电极位于红外吸收层上,其面积大于红外吸收层面积,小于绝缘层面积;第二欧姆电极位于紫外吸收层台阶面上。本发明能同时进行紫外和红外双波段探测,提高了探测系统的性能和探测效率。