本发明涉及材料制备技术领域,尤其是一种微纳结构的制备方法,利用物理气相沉积设备将待沉积的蒸发源沉积到离子液体基底中,所述蒸发源不溶于或微溶于所述离子液体。本发明的方法简单易行,具有很大的扩展性,可以有效地改善传统气相沉积法使用硬性基底存在的难分离的缺陷,同时可以有效地提高产物的结晶性和纯度,对于制备基于有机微纳结构的器件,并进一步实现纳米器件的集成具有重要意义。
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