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[00140673]大推力直线电机XY 工作台

交易价格： 面议

所属行业： 其他机械

类型： 非专利

技术成熟度： 正在研发

交易方式： 技术转让

联系人：中科院宁波先进制造所

所在地：浙江宁波市

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技术详细介绍

　　项目简介：用于半导体封装设备、激光加工等精密制造领域。

大推力直线电机XY 工作台.jpg

　　详细介绍：采用高速高精度运动控制和误差补偿技术，Y 轴重复定位精度可达0。6 微米、X 轴可达1 微米，XY 绝对定位精度可达2 微米，运动速度1m/s，实现了长行程、高速度、高精度的性能指标，具有广阔的应用前景。