[00135628]精密激光直写刻蚀系统
交易价格：
面议
所属行业：
其他机械
类型：
发明专利
技术成熟度：
可规模生产
专利所属地：中国
专利号：zl01134159.9
交易方式：
技术转让
技术转让
联系人：
苏州大学
进入空间
所在地：江苏苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
采用DPSSL紫外输出激光束，作为激光直写系统的光源，在610mmx800mm的幅面上，直写精密图形，是IT行业中精密图形输出装备。可实时监控激光点的聚焦变化。
支持：
矢量图形、点阵图形直写
应用领域：
IT行业，科学研究，激光精密加工
1、精密电路输出
2、显示器电极直写
3、精密掩模输出
4、精密图形加工（精密光刻）
5、材料刻划加工（硅片、聚合物）
性能指标：
输出定位精度：1微米
光点尺寸：5-50微米可调
直写幅面：610mmx800mm
激光波长：355nm（10W）
运行速度：0 - 500mm/s
采用DPSSL紫外输出激光束，作为激光直写系统的光源，在610mmx800mm的幅面上，直写精密图形，是IT行业中精密图形输出装备。可实时监控激光点的聚焦变化。
支持：
矢量图形、点阵图形直写
应用领域：
IT行业，科学研究，激光精密加工
1、精密电路输出
2、显示器电极直写
3、精密掩模输出
4、精密图形加工（精密光刻）
5、材料刻划加工（硅片、聚合物）
性能指标：
输出定位精度：1微米
光点尺寸：5-50微米可调
直写幅面：610mmx800mm
激光波长：355nm（10W）
运行速度：0 - 500mm/s
