[01347662]LIGA制作高性能微电子机械模具研究

随着微电子机械的广泛应用，人们希望大批量低成本生产微电子机械。通用方法是先制作微电子机械模具，再经压模或铸模来进行大批量的复制。LIGA技术是大批量低成本生产微电子机械的重要方法之一，它包括深度同步辐射光刻、电铸和塑铸工艺。在实际脱模过程中，由于微电子机械与模具表面的摩擦使得脱模成功率低，模具寿命短，所以目前这种批量制作微电子机械的方法还处在实验室研究阶段。该项目主要对LIGA技术的微电铸工艺进行改进，将低摩擦系数材料加入制作微电子机械模具的电镀液中，制作出低摩擦系数复合材料的高性能模具，提高微电子机械模具的脱模成功率，延长模具寿命。通过该项目的研究，建立了制作高性能微电子机械模具的工艺，改进了LIGA技术的微电铸工艺，在此基础上发展了一种制作具有低摩擦系数的高性能的微电子机械模具。并利用这一方法和标准的LIGA技术分别制作了Ni-PTFE和Ni模具，并对这两种模具进行了深入细致的脱模性能研究，实验结果表明利用这种方法制作的Ni-PTFE微电子机械模具改善了脱模性能，提高了脱模成功率，延长了模具的寿命。高性能模具制作达到了国际水平，发表的论文受到国际同行的重视。共发表论文7篇，其中国际杂志论文6篇，高影响因子文章两篇，有一篇论文发表在微机电系统的顶尖杂志J.MEMS上，另一篇文章发表在J.Micromech.Microeng上，该论文发表后，在一个多月内就被下载250多次。