[01302495]一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵
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技术详细介绍
本发明提出了一种基于可变弹性模量的复合薄膜压电微泵，旨在提高微泵泵送量，同时降低驱动电压，简化微泵结构，提高微泵在工作时的可靠性，包括上盖板、进口阀、上框架、泵膜、下框架、下盖板和出口阀。
上盖板固定在上框架上表面，其上设置有进口阀口，进口阀安装在该阀口的下端，下盖板固定在下框架下表面，其上设置有出口阀口，出口阀安装在该阀口的下端；所述泵膜由第一导电层、第一介质层、第二导电层、驱动电极、第三导电层和第二介质层复合而成，固定在上框架和下框架之间，形成容积可变的泵腔。
本发明微泵在低驱动电压下可实现泵腔容积的大变形，响应时间快，同时具有绿色环保的特性，可用于流体微量传送系统中。