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[00129072]数字微镜器件用于表面形貌跨尺度测量的技术研究

交易价格： 面议

所属行业： 其他仪器仪表

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：ZL201110090133.9

交易方式： 技术入股

联系人：华侨大学

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所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

数字微镜器件（DMD）是目前很多投影仪的核心部件，可以实现对入射光线的控制。现在很多加工工具、电子元器件等零件的表面形貌测量非常复杂，而对这些复杂表面形貌的精确表征可以对加工结果、电子器件的性能做出准确的仿真和预测，有利于提高加工水平及产品的性能。将DMD用于表面形貌的测量，无需对测量系统硬件做任何改变，仅通过软件编程就可实现高精度、大范围的跨尺度形貌测量，有方便、快速、精确的优点。

[00129072]数字微镜器件用于表面形貌跨尺度测量的技术研究

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