[00125647]光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法
交易价格：
面议
所属行业：
其他仪器仪表
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：201010275001.9
交易方式：
技术转让
联系人：
南京师范大学
进入空间
所在地：江苏南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法。属于唯一精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别于激光器的出射面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米位移和振动的测量，更接近实用化。
本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法。属于唯一精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别于激光器的出射面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米位移和振动的测量，更接近实用化。
