[01225285]一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法
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本发明公开了一种碳纳米管薄膜微纳米电离式传感器及其制备方法,传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面附着有分布着碳纳米管薄膜的金属膜基底;第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成;第三电极由板面设有盲孔的收集极构成;三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括：分别制作三个电极的掩模板,清洗硅片,溅射金属掩模;刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片;溅射多层金属膜,制作金焊盘;丝网印刷绝缘浆料或者粘接聚合物绝缘条;在第一电极内侧面金属膜基底上生长或者丝网印刷碳纳米管薄膜;将三电极粘合,键合电极引线,封装传感器。该传感器结构简单,检测气体线性度好,准确度高。