[01194471]一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法
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本发明公开了一种超薄的太赫兹中高频宽带滤波器及其制作方法,滤波器由下至上依次包括一层或多层的非晶介质薄膜和一层或多层的金属薄膜,其中,所述的非晶介质薄膜被刻蚀成方型或圆型当中的一种的周期性图形结构;所述的金属薄膜直接附在非晶介质薄膜的表面,而且金属薄膜与非晶介质薄膜的形状相同。本发明提供的太赫兹宽带滤波器具有较薄的厚度,能够减弱常规衬底材料带来的插入损耗、避免在太赫兹波段由衬底构成的谐振腔引起的法布里-珀罗共振。本发明所提供的滤波器结构简单、制造容易,其带通中心频率可覆盖整个太赫兹波段,同时具有较宽的带通带宽。如果把多个太赫兹滤波器相叠加,能够得到响应波形更加陡直、带外抑制性能更加优良的太赫兹滤波器。