[01148812]一种基于反射式斜向莫尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法
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本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法,属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对,在光源照射下,产生几何干涉,形成莫尔条纹。敏感移动梳齿在科氏力作用下移动,莫尔条纹也会成比例的发生相应的移动,通过后续的信号处理模块可以读取莫尔条纹移动的数目,由该数目求得外界输入的角速度。该发明的有益效果是： 1)采用非接触测量,因而对被测表面不会造成破坏; 2)测量速度高; 3)检测精度高,能够检测到nm尺寸下的位移; 4)与电学方法相比较,不会给系统引入未知的静电力,从而造成系统刚度的变化,有利于系统性能的稳定。