X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
关于我们 | 帮助中心
欢迎来到国家技术转移西南中心---区域技术转移公共服务平台,请 登录 | 注册
尊敬的 , 欢迎光临!  [会员中心]  [退出登录]
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[01148812]一种基于反射式斜向莫尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法

交易价格: 面议

所属行业: 检测仪器

类型: 非专利

交易方式: 资料待完善

联系人:

所在地:

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
|
收藏
|

技术详细介绍

本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法,属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对,在光源照射下,产生几何干涉,形成莫尔条纹。敏感移动梳齿在科氏力作用下移动,莫尔条纹也会成比例的发生相应的移动,通过后续的信号处理模块可以读取莫尔条纹移动的数目,由该数目求得外界输入的角速度。该发明的有益效果是: 1)采用非接触测量,因而对被测表面不会造成破坏; 2)测量速度高; 3)检测精度高,能够检测到nm尺寸下的位移; 4)与电学方法相比较,不会给系统引入未知的静电力,从而造成系统刚度的变化,有利于系统性能的稳定。
本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法,属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对,在光源照射下,产生几何干涉,形成莫尔条纹。敏感移动梳齿在科氏力作用下移动,莫尔条纹也会成比例的发生相应的移动,通过后续的信号处理模块可以读取莫尔条纹移动的数目,由该数目求得外界输入的角速度。该发明的有益效果是: 1)采用非接触测量,因而对被测表面不会造成破坏; 2)测量速度高; 3)检测精度高,能够检测到nm尺寸下的位移; 4)与电学方法相比较,不会给系统引入未知的静电力,从而造成系统刚度的变化,有利于系统性能的稳定。

推荐服务:

Copyright © 2016    国家技术转移西南中心-区域技术转移公共服务平台     All Rights Reserved     蜀ICP备12030382号-1

主办单位:四川省科技厅、四川省科学技术信息研究所、四川省技术转移中心科易网