[01142516]基于SOI的连续薄膜式微变形镜的制备方法
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明公开了一种基于SOI的连续薄膜式微变形镜及其制备方法,基底层、绝缘层和器件层为一张SOI硅片的三层结构,基底层处于结构最上方,向下依次为绝缘层和器件层;对器件层进行刻蚀后余下的体硅薄膜作为微镜镜面,而刻蚀的凹槽在SOI硅片与玻璃基底键合后形成镜面至驱动电极的空腔,镜面上方的基底层和绝缘层则以与器件层刻蚀凹槽相同的形状和位置作穿透刻蚀,使镜面露出,驱动电极分布在镜面至驱动电极的空腔中,由溅射在玻璃基底上的金属经过刻蚀得到。本发明避免了表面质量缺陷,镜面厚度得到有效的控制,大幅度的提高了变形镜可调制光波波长的范围,保留了原材料所具有的高表面质量。