[01127707]基于垂直测试图形的欧姆接触区方块电阻测试方法
联系人：
所在地：
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
登录后向技术服务商咨询
发布技术需求
服务免费，交易还可领红包哦
技术详细介绍
本发明公开了一种基于垂直测试图形的欧姆接触区方块电阻测试方法。其实现方案是：1.制备一组横向与纵向垂直交叉的欧姆接触测试图形,横向测试图形中包括第一电极、第五电极、第四电极,纵向测试图形中包括第二电极、第五电极、第三电极;2.分别测试横向、纵向测试图形中第一电极与第四电极之间的电阻值,第二电极与第三电极之间的电阻值;3.将纵向测试图形所得的电阻值乘以系数L/W与横向测试图形所得的电阻值做差,将其差值除以系数1-L/W,得到测试图形中欧姆接触区的方块电阻,其中L和W分别为横、纵向测试图形第五电极的长度。本发明测试图形简单易制作,测试速度快,结果准确可靠,可用于高电子迁移率异质结晶体管的制作。