[01102745]显示行业用大尺寸 ITO 靶材成套工艺技术

所属领域

ITO 靶材属于新材料领域， 在各种新型电子元器件领域发挥了极为重要的作 用， 在平面显示器产业、半导体集成电路制造领域、信息存储产业等产业和领域 中都广泛地应用。

成果介绍

基于本项成果已制备出国内最大， 国际领先的大尺寸靶材， 有望打破日韩垄 断。核心技术包括：

(1)微反应器制备纳米 ITO 粉，粒径均匀可控；

(2)国内独有的树脂模具注浆成型工艺，素坯均匀， 密度高，应力小，良 率高；

(3)自主设计 ITO 靶材烧结炉，温度场、氧气场高度均匀。

应用介绍

随着新增平板显示器产能的逐渐放量， 全球 ITO 靶材市场也以年均 13%的复 合增长率迅速膨胀。 2012 年， 全球 ITO 靶材的需求量约在 1270 吨， 2016 年 1 月 至 6 月，全球 ITO 靶材的需求量已经达到了 827 吨，全年约 1670 吨。根据 BBC Research 数据预测， 随着中国平板显示器行业的蓬勃兴起，靶材需求全球占比 近 25%，年增速约 20%，尤其是触摸屏市场的迅速扩张，中国正成为全球最重要 的平板显示器制造国和应用市场。当前国内实现量产以及正在爬坡(投产后 6- 10 个月) 的产线 33 条，其中OLED 产线 8 条。以 5 年更新期测算， 自 2018 年起， 需要更新的产能数量呈现爆发， 并在 2018-2021 年维持高位， 每年需更新的产能 平均达到 46.6 万片/月。 2021 年，国内靶材市场规模将达到近 200 亿美元，而 基于生产平板显示器所形成的高品质 ITO 靶材需求将超过 1000 吨。

技术优势

(1) 产品质量好。目前可生产单片平面靶材的最大尺寸为 1500mm×300mm， 相对密度≥99.7%，密度偏差≤0.15%，纯度>4N，电阻率≤1.4*10^-4Ω•cm，ITO 靶材的 SnO2 固溶到 In2O3 中形成单一的 In2O3 相， Sn 在靶中均匀分布， 晶粒细 微均匀，性能指标与日本同类靶材相当，尺寸领先；

(2) 制造成本低。注浆成型工艺应力小，成品相对于冷等静压技术，良品

率提高 20%，成本优势明显；

(3)固定资产投入低。一台冷等静压设备的投资往往在千万级，而注浆法 所需模具成本低廉，投资是冷等静压机的几分之一。

合作方式

商务合作