技术详细介绍
技术投资分析：
技术指标：
光纤询问式MEMS压力传感器主要基于法布里-珀罗（F-P）干涉原理，在光纤端面和硅敏感膜之间形成F-P腔，通过硅敏感膜感知压力变化，并把压力信号转化为硅敏感膜挠度变化值，通过激光检测硅敏感膜挠度并进行插值计算，最后输出压力值。
其主要性能指标见下表：
样品性能指标 单位 合同技术指标 技术指标实际完成情况
（1）测压范围 MPa 0～3 0～3
（2）准确度等级 无该项指标 0.5
（3）线性度 0-0.6MPa 内1.6％ 0-3MPa内线性度1.1％
（4）扩展不确定度（重复性） MPa 好 0.0065
（5）灵敏度 25m V/ MPa 3.5?m/MPa（分辨力0.001MPa)
（6）零位漂移 无该项指标 合格
创新内容：该光纤MEMS压力传感器在传统光纤MEMS压力传感器的基础上对其结构进行很大改善，解决了以往的结构由于多F-P腔的存在信号紊乱的情况，在解调方面，也跨越了以往的F-P强度解调法，采用相位解调的方法，解决了以往强度解调法对光源要求过高的限制。其中关键技术主要有硅敏感膜的MEMS工艺过程以及最后的封装过程。
成熟程度：随着科学技术的发展，MEMS已经是很成熟的技术，具有相当的稳定性和可靠性。
技术的应用领域前景分析：
应用领域：光纤MEMS压力传感器具有光纤传感器及MEMS传感器的优点，如体积小、重量轻、反应快、灵敏度高、成本低以及抗电磁干扰、保密性能好等。这些优点使得该传感器可以在石油化工这样的易燃易爆场合大显身手，还可以在对重量以及电磁干扰严重的航天航空领域得到广泛的应用。
应用前景：早就有人预言，21世纪是光的世纪。而传感器也将在这个现代化的社会各处发挥出其重大作用，如此，同时具备了光纤传感器和MEMS传感器优点的光纤MEMS压力传感器的生产其前景还是很诱人的。
效益分析：
本技术市场应用范围广，利润丰厚，效益十分可观。
厂房条件建议：
无
备注：
无