[01086644]涡旋干式真空泵

涡旋干式真空泵是一种真正意义上的清洁无油、高效率的真空获得设备，是生产半导体器件、集成电路、电子元件、电真空器件以及电子设备整机装备的专用设备，彻底解决了真空仪器设备的油污染问题，已成为世界上发展最快的泵种之一。国内市场份额1亿元以上，在该项目完成前，市场上相关产品完全依赖进口。中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(以下简称沈阳科仪公司)自主研发的涡旋干式真空泵在型线设计、加工工艺、材料选择和处理等方面实现了创新，攻克了型线设计、涡旋盘加工工艺、泵表面处理方法、密封材料、间隙与极限真空度等关键技术，产品在国家真空设备质量监督检测中心检测数据为：极限压力0.43Pa；抽气速率7.96L/S；噪声64.8dB。该产品2008年12月通过了辽宁省科技成果鉴定(辽科鉴字[2008]321号)，被评价为：主要性能指标达到国外同类产品水平。该产品填补了国内空白，可替代进口，项目成果处于国内领先地位。2008年12月通过了辽宁省经济委员会新产品鉴定(辽经技鉴字第081080号)，被评价为:该产品填补了国内空白，可替代进口，销售价格为国际同类产品的50%，具有较强的市场竞争力……彻底解决了真空仪器设备的油污染问题，可广泛用于半导体、薄膜制备、大科学工程、生物医药等领域，具有广阔的市场前景。受全国真空技术标准化委员会委托，沈阳科仪公司起草制订了该产品的行业标准，已公示完毕，正等待颁布。该项目产品不仅可以替代进口，出口创汇，创造可观的经济效益和社会效益。同时，对改善国内供需不平衡，打破垄断，发展民族装备制造业等也将起到积极作用。已进行小批量生产并得到应用，累计实现销售收入500万元，用户反馈良好。预计达产后可实现年产2000台的生产能力，产值7000万元。