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技术详细介绍
内容简介：采用微细加工技术制作的小型化，低成本角速率传感器。性能指标：样机偏置稳定性指标可达到0.36deg/s，非线性度小于0.65%。特点：所研制的采用具有高深宽比的溶片工艺制作，具有较大的性能提升空间。所采用的表头设计方案和加工技术相对成熟，通过量产将大幅降低单个陀螺的价格。适用范围：中低精度的陀螺在汽车防滑、防翻，玩具，摄像头稳定等民用领域具有良好的应用前景。提升性能后的微机械陀螺在惯性导航等领域也具有较好的应用前景。