[00100999]螺杆式无油（干式）真空泵及其无油真空系统

无油真空泵（干式真空泵）的发展源于清洁真空环境的需求日益增多，对环境的清洁度要求也越来越高。例如在电子工业、化工、冶金行业、核聚变领域以及宇航新材料领域、医药行业、食品工业等技术领域都要求比较清洁的真空环境，传统的有油泵很难满足这一要求。另一方面，有油泵无法避免相当一部分的油蒸汽排向大气，造成空气污染。保护环境、消除污染、节省能源、降低消耗实现可持续发展是21世纪全人类所面临的共同主题，无油泵自身不会产生或极少产生“三废”污染,同时使用干泵还有助于回收利用废液、废气资源、减少环境污染。 　　迫切需要采用无油真空泵和无油真空系统的工况有二类：一类以半导体加工行业为代表，要求真空泵向被抽空间内的返流为零，以保护工件免受污染；另一类需求以食品、医药、化工行业为代表，不仅要求真空泵没有油脂蒸汽的污染，而且要求真空泵能大量抽除、输送可凝性蒸汽，或腐蚀性气体，或有毒气体，或含有微尘的气体。 　　螺杆式无油真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多使用单位的青睐。螺杆式无油真空泵能够真正做到即保证清洁的被抽空间，又不污染周围环境，号称21世纪绿色真空泵。在无油真空泵市场中占有重要的地位。 　　既可用于半导体行业，又可用于石化行业。可广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产晶片、制造液晶显示器、蚀刻、CVD制程；在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得；化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂；食品工业中用于香料、香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛，产品市场前景看好。 　　以无油螺杆真空泵为基础的罗茨—螺杆无油真空机组，可以代替传统的罗茨—水环泵无油真空系统，在医药、化工、食品行业广泛应用，具有占用空间小、能耗低、寿命长、可靠性好、无水蒸气影响等优点，适合于各种非爆炸性气体的排除和输送。是新世纪无油真空机组的换代产品。 　　东北大学机械工程与自动化学院过程装备与环境工程研究所可以对外转让无油螺杆真空泵产品关键设计制造成套专利技术，或向最终用户直接提供无油螺杆真空泵和无油真空机组产品。