[00327941]真空射频连接器的国产化及其应用

真空射频连接器（Feedthrough）是一种可以穿过真空腔壁，在大气与真空间进行直流、射频（微波）功率和信号传输的密封装置。2018年之前，我国的真空连接器市场主要是由日本的京瓷公司、美国的MPF和SST、英国的TC等公司垄断。多年来国内的真空连接器一直在直流和低频段发展，适用于高频段的真空射频连接器多年来一直依赖于进口。为了满足国内对真空连接器高频段的迫切需求，项目团队联合相关单位经过7年多不断改进、实践，自主研发生产了50Ω高性能真空射频连接器，该款产品经过超高真空、超高温、极限低温、高气压、高电压、高电流、微波性能等一系列测试，产品插入损耗低，性能稳定、质量过硬，可适用于多种环境。该款产品，填补了国内该款产品“空白”，打破该项技术国外垄断。研制的真空连接器具有以下特点： (1)广泛的工作温度，从1.5K~920K，可用于太空和高温环境； (2)极低的真空漏率，≤5×10-13Pa•m3/s，适用于超高真空应用； (3)高达K波段的频率范围，DC~18GHz，突破以往的使用限制； (4)低的插入损耗， S21<-1dB，在使用频段内传输高质量信号该器件尤其适用于涉及真空、极端使用温度且有提取直流和射频信号需求的装置，如科研院所的各种粒子加速器，产业及定制化的真空设备、航天航空器件等，具有广泛的应用场景。随着我国真空射频领域技术的发展，对真空连机器的需求是持续性的，规模化的市场应用存在且不断上升，国内目前每年需求量正呈增长趋势。该项目技术成熟稳定，已经和各大科研院所有多次密切的合作，例如成功应用于上海光源的高性能Feedthrough(图a)，中国科学院上海高等研究所的WPM(图b)，中国原子能科学研究院的波纹管BPM(图c)等