当前位置：首页 > 科技成果 > 详细页

[00301161]宏微结合的电感位移传感器校准方法与装置

交易价格： 面议

所属行业： 检测仪器

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610311986.3

交易方式： 技术转让技术转让技术入股

联系人：哈尔滨工业大学

进入空间

所在地：黑龙江哈尔滨市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

发布技术需求服务免费，交易还可领红包哦

技术详细介绍

摘要：宏微结合的电感位移传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直流电机与滚珠丝杠作为宏动驱动元件，双V型槽导轨作为宏动导向元件，电容传感器与双频激光干涉仪作为宏动反馈元件进行宏动粗定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用四个电涡流传感器补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

[00301161]宏微结合的电感位移传感器校准方法与装置

技术详细介绍

推荐服务：